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第243章 超紫外激光波长1 5nm功率2000w（第1页）

&esp;&esp;当北方的清晨亮起第一抹阳光，长春光机所地下实验室里，一场激动人心的实验，也终于开始了。

&esp;&esp;激光发生器开始预热，这是全套光刻机台中最核心的部件之一，由中科光电院设计制造。

&esp;&esp;激光光源射出后，首先会进入光束矫正器，矫正器共有三组，调整光束入射方向，让激光束尽量保持平行。

&esp;&esp;调整完毕的平行激光，会进入能量控制器。

&esp;&esp;顾名思义，能量控制器是调节激光功率的存在，控制最终照射到硅片上的能量大小。

&esp;&esp;像芯片这样的高精密制造业，无论曝光不足或者过足，都会严重影响出片质量，所以能量必须收到严格的控制。

&esp;&esp;能量控制器之后，是光束形状设置器，它可以设置光束形态，呈圆型，环型，散射型等等不同的形状，而不同形态的激光，又有着不同的光学特性。

&esp;&esp;光束形状设置器尾部，还有一组遮光器，在不需要曝光的时候，遮光器会把光束拦下来，防止光束照射到硅片上。

&esp;&esp;再然后是能量探测器，这个东西主要是检测光束功率的，它无法单独使用，而是将检测信号回馈给能量控制器，配合能量控制器进行功率调整。

&esp;&esp;调整完毕的激光束，会穿过掩模版，进入物镜。

&esp;&esp;掩膜版也叫光罩，简单来说呢，它就是一块内部刻着线路设计图的玻璃板，给硅片曝光用的，你想要什么样的半导体设计线路，就定制什么样的掩膜版。

&esp;&esp;掩膜版的价格和精度成正比，国内海凸版，无锡华润，中微，深圳清逸，路维，十三所，五十五所，自动化所等等，都可以做这个东西。

&esp;&esp;目前，华夏已经把基础型掩膜版价格，砸成了白菜价，帝都微电子所的2u光刻板，只要一千两百块，南京55所的一千一百块，精度1u的板子五千块，无锡华润略贵，两千块起步，但板子做的确实漂亮。

&esp;&esp;而要是精度达到纳米级别的板子，那可就相当昂贵了，根据业内小道消息，苹果公司给旗下1型处理器定制的掩膜版，造价高达上百万美元。

&esp;&esp;掩膜版下方，是一种名为掩膜台的机械装置，它的作用是承载掩模版进行运动，控制精度为纳米级，为了达到苛刻的精确控制要求，长春光机所从昆仑集团采购了高精度极光电机。

&esp;&esp;在这套机台上，其实有很多技术和产品，都是来自昆仑集团，但最重要的部分，必须是掩膜台下方，巨大而又极端精密的物镜。

&esp;&esp;物镜由三十多块镜片组成，主要作用是把掩膜版上的电路图，按照比例缩小，再用激光映射的硅晶圆上，并且物镜还要主动补偿各种光学误差，控制曝光精度。

&esp;&esp;可以毫不夸张的说，物镜就是光刻机的心脏，如果物镜技术过关，哪怕掩膜技术差一点，光源功率弱一些，最终也能得到不错的结果。

&esp;&esp;但如果物镜技术不行，其他所有子系统就算造的再好，也没有任何作用。

&esp;&esp;毕竟光刻机的本质，是一套光学系统。

&esp;&esp;很多不了解半导体行业的同学，往往对其有所误解，真正的芯片制造流程，是激光透过物镜在硅片上曝光出来的，而不是用机器物理雕刻出来的。

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